中山路灯车出租,  增城路灯车出租,  新会路灯车出租      电容式差压传感器实验装置的线性度与重复性？   电容式差压传感器是整个测试仪的最重要核心部件，决定了测试仪器的精度和工作稳定性可靠性。因此针对前文设计的电容式差压传感器，本节在静压条件下对该传感器进行传感器静态特性实验。设置充气系统的调压阀为零值，即不给传感器的腔室充气，传感器一侧腔室的气路连接泄漏校正器 LC-22，泄漏校正器可以使腔室的容积发生变化，导致两个腔室间产生压差。通过三通接头把该腔室的气路连接到高精度压力表 COSMODP-340BA-5PDNF2 的接口 1，另一侧腔室的气路连接到压力表的接口 2，通过压力表读出传感器两腔室的压差大小。压力表，该表可以检测 0-500Pa 范围的压差，精度为满量程的0.3%。实验操作步骤如下，控制泄漏校正器使传感器内两个腔室的压差发生变化，记录压力表显示的压差值，然后从采集控制板读取当前压差下传感器的电容输出值。   

        环境温度为 20℃，控制泄漏校正器使传感器两个腔室的压差在 0-500Pa 范围变化，步进为 20Pa，对传感器的正行程（0 到 500Pa）和反行程（500Pa 到 0）做三次测量，得到传感器的线性度、灵敏度、迟滞和重复性。由于电容传感器较灵敏，同一压差下检测的数据稍有波动，因此对相同压差时采集的电容差数据做平均处理，5 个数据点做一次平均，测量得到电容差数据。 传感器在 0-50Pa 压差范围存在一定非线性，在 50-500Pa 范围内线性度较好，零点附近的非线性可能来源于机械结构的误差、膜片的预紧力等因素。针对 0-50Pa 区间存在的非线性问题，一般通过对传感器分段标定的方法，或者在该区间采用 0-50Pa 小量程的电容式差压传感器进行检测，以达到较好的检测效果。 分析传感器正反行程的数据，对传感器特性曲线做最小二乘法拟合，比较特性曲线与拟合直线，得出传感器特性参数。  

 

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      （1）线性度和灵敏度： 传感器的线性度也称为非线性误差，指传感器的输出与输入关系的线性程度，以传感器的输入输出曲线和拟合直线之间的最大偏差与满量程输出的百分比表示。本文采用最小二乘法得到拟合直线。传感器的灵敏度是指传感器的单位输入变化量引起的输出变化量，灵敏度值越大，表示传感器越灵敏。考虑到 0-50Pa 压差范围内存在非线性，对满量程 0-500Pa 和 50-500Pa 分别计算线性度和灵敏度。线性度和灵敏度计算结果，从表中数据可以看出，压差 50-500Pa 范围线性度较好，正行程平均非线性 1.030%，反行程平均非线性 1.409%。0-500Pa 范围内，由于 0-50Pa 区域存在较明显的非线性，导致整体线性度有所欠缺。 

 

     （2）迟滞：传感器正行程与反行程的输出特性曲线不重合的现象称为迟滞，迟滞误差为全量程中的最大迟滞与满量程输出的百分比。对三组传感器正反行程的输出特性曲线进行计算，得到每组的迟滞误差，三次正反行程的迟滞误差分别为 1.054%、1.664%、1.130%。传感器正反行程的输出特性曲线基本重合，迟滞误差较小。 

     （3）重复性：重复性指传感器输入按相同的方向进行变化，所到输出特性曲线的不一致程度。分别计算 3 次正行程与 3 次反行程的重复性误差，正行程的重复性误差为 1.254%，反行程误差为 2.760%。3 次正行程的曲线基本重合，3 次反行程的曲线在 0-50Pa 区间内部分数据点有一些差距，在 50-500Pa 区间曲线基本一致。

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